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第793章 入股ASML的关键一步4k（第3页）

“另外，如果复芯投资ASML失败的话，我要台积电，还有说服AMSL，一起给中微半导体提供浸润式光刻机的专利技术授权。”

陆飞伸出第二根手指。

“你们想要造光刻机？据我所知，中微半导体还没有研发出65nm干式光刻机吧？”

章忠谋不免感到意外。

“没错，我们还停留在90nm干式光刻机，所以我们需要AMSL、台积电提供光刻机的专利技术，让华夏企业自主生产，本来我们计划是找尼康、佳能合作。”

陆飞勾起了一抹淡淡的笑意。

中微半导体研发出65nm干式光刻机的消息，一直处于保密状态，就像给华为mate60的麒麟9000S芯片由谁代工的一样，有一股神秘的力量出手，悄悄地保证消息不泄露。

工信部等领导们有不知情，也有知情，很快就猜到了陆飞的用意，投去鼓励的眼神。

“这个，我们需要讨论一下。”

章忠谋和蔡力行等人说着悄悄话。

“你觉得呢？”

“章总，我觉得可以答应他们。”

“呵呵，你就不怕他们真的造出浸润式光刻机，甚至是EUV光刻机？”

“怎么可能呢！您也知道造光刻机的难度有多大，哪怕给他们一套完整的图纸，他们也无法自主制造出一台光刻机，更别说造出EUV光刻机，简直是痴心妄想！”

“你说的也有道理。”

章忠谋就是太清楚光刻机制造的难度，才没有一口回绝陆飞的条件。

要知道最先进的EUV光刻机包括超过10万个零件，4万个螺栓、3000条线路软管，总长超过两公里，设备重达180吨。

光给三星的那台试验机，就需要40个集装箱、20辆卡车和三架货机，仅调试时间，就长达一年。

而在这10万个零件中，一些特殊零件非常复杂，比如紫外光

源和光学镜头等，蔡斯公司提供生产镜头、各种反光镜和其他光学元件，目前世界上没有任何公司可以模仿。

卡住了光学镜头，量国产光刻机也造不出来，他打心底里，就不认为大陆能凭一己之力，在不借助国外的情况下，能搞出光刻机。

“可以，但能不能说服ASML，我们不敢百分之百地保证。”蔡力行又点了下头。

“还有，我们还希望邀请贵公司的林本坚博士来大陆来，协助光刻机的研发项目。”

陆飞敲了敲桌面。

章忠谋立刻打起十二分精神，“不好意思，陆总，林本坚博士早就从台积电退休了，我们不能替他做出，能不能重新出山，要看他本人的意愿。”

陆飞也不强求，改成了让台积电帮复芯跟林本坚牵线搭桥，说服出山的工作他们来办！

章忠谋当然是不愿意让浸润式光刻机之父林本坚出山，那不像梁孟松一样资敌了嘛！

不能给大陆半导体任何领先的机会！

只要能控制了所有的技术瓶颈！

“我要的就这几个条件，不过分吧？”

陆飞左看看，右看看。

“我们这边没有任何问题，但我们还要跟公司里商量，可能需要经过董事会的决议。”

章忠谋喝了口水。