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713 搞出光刻机挺直腰杆子4k（第3页）

陆飞笑道：“落后不可怕，可怕的是不追赶，你看我们现在，已经步入正轨了。”

“可不是嘛，快赶上小霓虹了！”

孙红军嘿然一笑。

就像霓虹在新能源上梭哈错了氢能，在光刻机路线上，不去梭哈湿刻法，而是全力押注干刻法，却失败了，白白耗费人力财力时间。

今后，逻辑的光刻机就可以跟尼康、佳能竞争低端光刻机市场，先干翻了小霓虹！

“所以啊，尹教授，我知道你很急，但你先别急，ArFi会有的，EUV也会有的！”

陆飞环顾四周，激励士气。

“陆总！”

尹志尧郑重地点了下头，他作为中微半导体的领军人，非常清楚逻辑是两条腿走路，既跟微电子为首的单位合作ArFi光刻机，又跟长春光机为主的科研所研究EUV光刻机。

而且满世界找帮手，比如徕卡。

“老孙，这次的奖励方案做出来了嘛？”

陆飞侧目望向孙红军。

“已经拟出个初步方案，就等您来定。”

孙红军应了一声。

“嗯，但凡这次参与光刻机项目的，哪怕是拧了个螺丝的，也要多发奖金！”

陆飞双手叉腰，“65n有了，还怕没有ArFi？没有EUV？接下来我们就向32n、28n，甚至28n以下的发起冲击，不管是10年、20年，还是多长时间，也要搞出来！把这颗工业明珠给我摘下来，当弹珠卖！”

“我就是怕耽误了先进制程工艺的进程，毕竟我们买不到最先进的DUV光刻机。”

尹志尧脸上露出一丝愧疚。

“梁博士，你的意思呢？”

陆飞把目光投向梁孟松。

“陆总放心，难度肯定是有的，但我可以保证，32n，今年下半年就能风险性试产。”

梁孟松话锋一转，说出难题。

芯片代工制造的过程非常复杂，需要多方面的技术和设备支持，就像14n是个关键的分界线，28n也是个关键的分界线。

但设备还不是他最担心的，他最担心的是中芯被台积电打倒之后，下一个就轮到逻辑。

“这种情况我不是没有考虑。”

陆飞摆了摆手：“所以才把逻辑、澎拜的三分之一的产能放在台积电，就是让章忠谋顾虑，既想对付我们，又怕失去我们的订单。”

“可按我对章忠谋的了解，肯定不会善罢甘休。”梁孟松忧心道，“另外还有三星……”

陆飞笑道：“梁博士，三星现在的技术负责人还是蒋尚义，哪怕拿到了EUV光刻机，你觉得他有这个能力带领三星冲击制程吗？”

“没有！”

梁孟松想也不想，“没这个可能！”

“对嘛，就连4045n工艺，三星还是靠我们，很难说不会又在一个节点上卡住，难以突破。”陆飞严肃说，“这么一比，台积电才是我们最大的敌人！不管现在，还是将来！”

“台积电那边计划今年过渡到32n，然后最早在明年转向28n，我们的进度并不比台积电慢。”梁孟松自信满满。

“梁博士，假如，我是说假如，假如没有最先进的代工厂给逻辑造芯片，假如逻辑还造不出比较先进的光刻机，假如……”

陆飞把前世华为遭到的打压说了一遍。

“陆总，这种极限施压情况下，也不是没有办法，可以考虑多重曝光技术。”

梁孟松沉吟片刻，一一列出优缺点。

尤其是缺点，虽然经过多重曝光工艺，可以改变光刻机的制程极限，但良品率低。

而且每次曝光都需要校准，而对准误差会在多次曝光中积累，进而影响芯片的质量。