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设计负责人脸上的自豪感褪去,变得凝重起来。
他看向了工艺整合负责人和设计-工艺产品线总裁孟良凡。
冯庭波适时接话:
“尘风总问到了核心。
设计只是蓝图,制造才是将蓝图变为现实的关键。
下面,就请工艺团队和孟总,为我们揭示‘猎人’芯片在14nmFinFET平台上的真实情况。”
工艺整合负责人深吸一口气,站了起来。
他操作投影,画面切换到了一张令人眼花缭乱的多维度图表:14nmFinFET工艺平台良率追踪图。
上面布满了各种颜色的曲线,代表着不同批次的晶圆、不同的测试结构、在不同的关键工艺节点上的良率表现。
“姚总的问题非常直接,我也直接回答。”他的声音努力保持平静,但能听出紧张。
“‘猎人’芯片,是基于我们华兴EDA团队与海思共同开发的新一代PDK进行设计和仿真的。
其仿真模型,大量参考了孟教授团队带来的理论模型和中芯国际产线的早期数据。”
他指向图表的核心区域,一条原本剧烈波动但近期逐渐趋于平稳的曲线:
“这就是‘猎人’芯片核心计算模块的MPW试产良率趋势。
经过五轮艰苦的工艺迭代和设计优化,其综合良率,已从最初的令人绝望的31%,提升并稳定在68。5%。
最近三个批次的波动范围已经控制在±2%以内。”
“68。5%?”姚尘风身体前倾,手指停止了敲击,语气中混合着惊讶和欣喜。
“如果我没记错,上次季度汇报,这个数字还在45%徘徊。
这个爬坡速度,超出了我们内部的预期。
怎么做到的?”
“是的,姚总,提升速度确实超预期。”负责人语气肯定,也有振奋。
“突破主要来自三个方面:
首先是孟总团队带来的FinFET三维鳍片形状和应力工程的精确调控模型,优化了载流子迁移率,显著降低了漏电流,这是提升良率和能效的基础。”
“其次,是在后段互连环节,我们和中芯国际的伙伴共同攻关,采用了新的铜互连阻挡层材料和更低介电常数的低k介质,有效降低了RC延迟和整体芯片功耗。”
“而第三点,至关重要,”他提高了音量,目光转向陈默。
“陈总领导的EDA团队,提供了更新一代、精度更高的PDK和仿真模型。
特别是其中的化学机械抛光(CMP)建模和面向制造的设计(DFM)规则检查,让我们在设计阶段就预先规避了超过30%的潜在制造热点(HOtSpOt)和天线效应问题。
这大大减少了流片后的反复次数,缩短了良率爬升周期。
可以说,是设计和工具的进步,反向拉动了制造工艺的成熟。”
孟良凡这时推了推眼镜,严谨底补充道:
“庭波总、陈总、姚总,68。5%的良率,对于一条完全依靠我们自身技术力量摸索、且受到诸多外部限制的14nmFinFET工艺线而言,是一个里程碑,它证明了技术路线的可行性。
这标志着我们已初步掌握了中端性能芯片的自主可控设计制造能力。”
他话锋一转,依旧保持着客观:
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