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第831章 芯片进展3（第1页）

“第一，纳米片晶体管（GAAFET）的刻蚀控制。

我们对纳米片叠层的精度、栅极环绕的控制，极其不稳定，这是良率波动的主要来源之一。”

“第二，高介电常数金属栅极（HKMG）的堆叠精度和均匀性。

新材料的热预算和界面态极其敏感，均匀性偏差导致阈值电压（Vt）漂移严重。”

“第三，也是最致命的，”他的语气几乎带着一丝绝望。

“极紫外（EUV）光刻技术的应用调试。

EUV光源的功率、稳定性，以及配套的光刻胶、掩膜版技术，全部受到最严格的限制，获取极其困难，调试进度几乎停滞。

没有稳定可靠的EUV光刻，很多关键的精细结构无法实现，良率和性能都无从谈起。”

他指着图表上那个刺眼的数字：

“目前MPW试产的综合良率。。。。。。仍然在25%-30%的区间剧烈波动，最低甚至探至18%。

而且，波动没有收敛的趋势。

姚总，这个良率，对于单颗成本就高达数十美元的高端旗舰芯片来说，是商业上无法接受的。”

会议室的温度仿佛瞬间降到了冰点。

25%-30%且不稳定的良率，意味着超过三分之二的芯片是废品，这不仅是成本的灾难，更是量产交付的噩梦。

孟良凡的面色也无比凝重。

他双手交叉支在桌上，身体前倾，沉声道：

“N+1的困境，是基础物理学、材料科学和精密工程极限的综合体现。

这堵墙，靠工艺团队硬撞，代价太大，进度也无法保证。”

他再次将目光投向陈默，这次带着更深的期待和恳求。

“陈总，我们恳请开辟第二战场。

设计端和工具链必须承担更多责任。

现有的EDA工具，在应对N+1这样逼近物理极限的工艺时，已经显得力不从心，更别说再往后的N+2工艺了。

我们迫切需要工具链的再次革命。”

他语速加快，列举出痛点：

“我们需要能进行原子级器件建模的工具，能精确模拟掺杂原子分布对性能的影响；

我们需要多物理场仿真平台，能耦合计算热、电、应力之间的相互效应；

我们需要更强大的计算光刻（OPC）软件，以补偿EUV光刻带来的复杂光学邻近效应；

我们还需要基于大数据的良率预测与优化系统，能在设计阶段就预测出芯片的薄弱环节。

否则，我们设计出来的东西，就像是建立在流沙上的城堡，根本没法在现实的、不完美的工艺里被可靠地制造出来！”

这番尖锐而专业的需求，将所有压力和责任清晰地传递到了陈默和他的EDA团队身上。

面对孟良凡几乎一波又一波的挑战和全场聚焦的压力，陈默没有表现出丝毫的慌乱或防御姿态。

他缓缓坐直身体，目光平静地迎向孟良凡，然后扫过全场，最后落在自己面前的电脑上。

“孟教授提出的问题，正是我们EDA产品线过去一年，投入超过70%研发资源全力攻坚的方向。

也是我们理解的，打破僵局的关键。”